電阻器與一個(gè)時(shí)變電阻并聯(lián)的等效電路一致

來(lái)源：萬(wàn)利隆電子人氣：發(fā)布時(shí)間：2020-11-10

電阻器生產(chǎn)在電解質(zhì)和導(dǎo)電聚合物之間的平面結(jié)的反摻雜過(guò)程，使用電化學(xué)阻抗譜在移動(dòng)前緣測(cè)量期間執(zhí)行。阻抗譜與一個(gè)時(shí)變電阻并聯(lián)的等效電路一致。這種電阻對(duì)應(yīng)于膜的脫摻雜區(qū)域的離子輸運(yùn)，并且可以用移動(dòng)前緣測(cè)量得到的離子密度和漂移遷移率來(lái)定量描述。另一方面，電容器不依賴于時(shí)間，并與移動(dòng)前端的電荷分離有關(guān)。這項(xiàng)工作提供了基于材料參數(shù)的導(dǎo)電聚合物/電解質(zhì)界面阻抗。

電阻器使用非常廣泛，在現(xiàn)有的在彈性體上構(gòu)造金屬結(jié)構(gòu)的技術(shù)在分辨率、成品率和可擴(kuò)展性方面是有限的。主要的限制是電阻器的物理特性與傳統(tǒng)的潔凈室技術(shù)不相容。為了證明了一種可靠的制造策略，以轉(zhuǎn)移高分辨率的金屬結(jié)構(gòu)在尺寸小于500納米彈性體。所提出的方法是利用傳統(tǒng)的光刻技術(shù)在硅上涂覆一薄犧牲鋁層，生成金屬圖案。

電阻器生產(chǎn)對(duì)犧牲層的濕蝕刻釋放帶有嵌入金屬圖案的彈性體。利用該方法在聚二甲基硅氧烷上制備了最小特征尺寸為400nm的納米電阻，并應(yīng)用于氣體傳感。PDMS中溶劑的吸附導(dǎo)致溶脹，增加了器件的電阻，從而使檢測(cè)揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)成為可能。室溫下使用PDMS納米電阻，對(duì)氯仿和甲苯蒸汽具有快速響應(yīng)(~30 s)和回收(~200 s)的敏感性。

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