厚膜電阻燒結(jié)工藝，厚膜電阻激光調(diào)阻方法

來(lái)源：萬(wàn)利隆電子閱讀量：2000發(fā)布時(shí)間：2019-06-13

厚膜電阻生產(chǎn)技術(shù)已經(jīng)非常成熟，在很多厚膜電阻采用燒結(jié)工藝時(shí)需有一定的條件：PdAg、Au、Ag系列漿料燒結(jié)時(shí)，厚膜電阻燒結(jié)爐中必須充以一定流量的無(wú)油、無(wú)水壓縮空氣，氧氣在燒結(jié)過(guò)程中參與反應(yīng)，有的爐子先將充入的氣體加熱，在不同區(qū)域隨著溫度的變化而充入不同溫度的氣體，這樣就能更好的減少爐中氣體的影響。厚膜電阻燒結(jié)爐的環(huán)魔也必須凈化，否則會(huì)有不凈氣體污染爐子．不干凈的氣體會(huì)導(dǎo)致燒結(jié)不好，如其中有鹵素FZ、Cl會(huì)腐蝕厚膜電阻的電阻膜。

厚膜電阻燒結(jié)是個(gè)很復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，銀金屬先氧化再還原，這其中氧氣起重要作用。一般情況下，升溫速率應(yīng)稍慢，為30-40℃／ltli以便使反應(yīng)充分，當(dāng)溫度降溫50℃／lnill，以減少反應(yīng)過(guò)程。厚膜電阻燒結(jié)過(guò)程中還需有個(gè)保溫時(shí)間，保溫時(shí)間的長(zhǎng)短，主要保證反應(yīng)充分、大小均勻，膜結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，使玻璃相不處于應(yīng)力或結(jié)晶狀態(tài)．大多數(shù)厚膜漿料推薦為10而．含有玻璃相的厚膜導(dǎo)體漿料，保溫時(shí)間不易太長(zhǎng)，否則將使導(dǎo)體漿料中的玻璃上浮至厚膜元件表面，從而降低了厚膜導(dǎo)體與基片的附著力和可焊性，而厚膜電阻的保溫時(shí)間不合適，將不能達(dá)到規(guī)定的電性能指標(biāo)．在如此高的阻值基礎(chǔ)上要得到好的溫度系數(shù)伙于25即nl／℃，要經(jīng)過(guò)充分厚膜電阻的試驗(yàn)和調(diào)整。

厚膜電阻激光調(diào)阻是對(duì)厚膜電阻的精度一大提高，經(jīng)過(guò)印別和燒結(jié)后，厚膜電阻的電特性已完全顯現(xiàn)。但由于淀積的不一致性，厚膜電阻精度不可能達(dá)到設(shè)計(jì)要求，需要對(duì)厚膜電阻進(jìn)行修正。一般修正的辦法是對(duì)厚膜電阻體中刻槽或除去部分電阻體，使阻值升高的辦法。這樣網(wǎng)印的厚膜電阻的阻值應(yīng)控制在小于設(shè)計(jì)電隊(duì)值，大都在60％一100％之間。通過(guò)激光在厚膜電阻的電阻體上刻出一個(gè)槽口，使電阻值升高，以達(dá)到所需要的阻值。通常厚膜電阻的切割采用IJ形切割，為了達(dá)到高阻值，本次激光調(diào)阻使用蛇形切割用以增加電流路徑長(zhǎng)度。

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