電阻阻值測試方法中單點測試電阻有那些缺點

來源：萬利隆電子閱讀量：2000發(fā)布時間：2019-02-13

電阻阻值測試是電阻使用中重要的環(huán)節(jié)，精確測試出電阻的阻值對應(yīng)電阻器的使用非常重要，目前很多產(chǎn)品都非常重視電阻的測試，而現(xiàn)階段的電阻阻值測試方法均為單點測試法，即在測試結(jié)構(gòu)上施加一個電壓或者電流，量測出相對應(yīng)的電流或者電壓，然后利用歐姆定律計算出電阻R，那么這種電阻阻值測試有哪些缺點呢，我們分析如下：

單點測試法雖然檢測過程簡單，但是存在以下兩個缺陷：(1)沒有考慮測試機臺測試性能的穩(wěn)定性，機臺本身量測性能的穩(wěn)定性會影響到實際的測量值，特別是在小電阻量測過程中有顯著的影響，不容忽略。(2)無法直接判斷測試結(jié)果數(shù)據(jù)是否受其他異常因素影響，比如探針卡與測試結(jié)構(gòu)的接觸問題。

以采用單點檢測法的應(yīng)力遷移測試結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)為例，第一次測試電阻為0.27ohm，第二次測試阻值為0.23ohm，兩次測試誤差0.04ohm，測試誤差達到15％，對于其他樣品的兩次檢測中，最大的測試誤差達到了19％，最小的測試誤差也有13.8％，因此單點檢測法難以得到精確且穩(wěn)定的檢測結(jié)果。

而隨著集成電路工藝多樣化發(fā)展，電阻生產(chǎn)工藝改進，貼片電阻工藝廣泛應(yīng)用，對電阻測試需要進行可靠性評估的測試結(jié)構(gòu)的電阻值越來越小，而可靠性評估過程，比如應(yīng)力遷移測試和電遷移測試過程中，對測試結(jié)構(gòu)的電阻測試精度要求越來越高，因此目前的單點測試方法難以滿足測試要求。

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